系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99.99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是1.78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。
陶瓷学报 [1000-2278]本刊收录在： 中国科技期刊引证报告(2010年版)提示: 《引证报告》2010年版影响因子:0.196 本刊收录在： 中国科技期刊引证报告(2011年版)提示: 《引证报告》2011年版影响因子:0.177 本刊收录在：
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据2018年9月21日中国知网显示，《陶瓷学报》共出版文献2545篇、总被下载422962次、总被引11794次、（2017版）复合影响因子为0.797、（2017版）综合影响因子为0.613。据2018年9月21日万方数据知识服务平台显示，《
《陶瓷学报》被以下数据库收录：CA 化学文摘(美)(2014)北京大学《中文核心期刊要目总览》来源期刊：2008年版,2011年版,2014年版;
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