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发布时间:2024-07-18 10:18:08

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1、论文格式的论文题目:(下附署名)要求准确、简练、醒目、新颖。 2、论文格式的目录 目录是论文中主要段落的简表。(短篇论文不必列目录) 3、论文格式的内容提要: 是文章主要内容的摘录,要求短、精、完整。字数少可几十字,多不超过三百字为宜。 4、论文格式的关键词或主题词 关键词是从论文的题名、提要和正文中选取出来的,是对表述论文的中心内容有实质意义的词汇。关键词是用作计算机系统标引论文内容特征的词语,便于信息系统汇集,以供读者检索。每篇论文一般选取3-8个词汇作为关键词,另起一行,排在“提要”的左下方。 主题词是经过规范化的词,在确定主题词时,要对论文进行主题分析,依照标引和组配规则转换成主题词表中的规范词语。(参见《汉语主题词表》和《世界汉语主题词表》)。 5、论文格式的论文正文: (1)引言:引言又称前言、序言和导言,用在论文的开头。引言一般要概括地写出作者意图,说明选题的目的和意义, 并指出论文写作的范围。引言要短小精悍、紧扣主题。 〈2)论文正文:正文是论文的主体,正文应包括论点、论据、论证过程和结论。主体部分包括以下内容: 提出问题-论点; 分析问题-论据和论证; 解决问题-论证方法与步骤; 结论。 6、论文格式的参考文献 一篇论文的参考文献是将论文在研究和写作中可参考或引证的主要文献资料,列于论文的末尾。参考文献应另起一页,标注方式按《GB7714-87文后参考文献著录规则》进行。 中文:标题--作者--出版物信息(版地、版者、版期) 英文:作者--标题--出版物信息 所列参考文献的要求是: (1)所列参考文献应是正式出版物,以便读者考证。 (2)所列举的参考文献要标明序号、著作或文章的标题、作者、出版物信息。搜索一下 品学论文网 上面什么专业的都有经济学 经济学 国际经济与贸易 财政学 金融学 国民经济管理 保险 金融工程 税务 信用管理 投资学 环境经济/环境资源与发展经济学 管理学 酒店管理 管理科学与工程 信息管理与信息系统 工业工程 工程管理 工程造价 产品质量工程 项目管理 工商管理 市场营销 会计学财务管理 人力资源管理 旅游管理 审计学 电子商务 物流管理 国际商务 物业管理/房地产 连锁经营管理 资产评估 行政管理公共管理/公共事业管理 劳动与社会保障 土地资源管理 城市管理 文化产业管理 会展经济与管理 航运管理 劳动关系公共安全管理/应急管理 体育产业管理 农林经济管理 农村区域发展 图书馆学 档案学 信息资源管理 理学 数学与应用数学/金融数学 信息与计算科学 物理学 应用物理学 声学 化学 应用化学 化学生物学 生物信息学/生物信息技术生物科学与生物技术(动物植物生物技术) 动植物检疫 天文学 地质学 地球化学 地理科学 资源环境与城乡规划管理 地理信息系统地球信息科学与技术 地球物理学 大气科学 应用气象学 海洋科学与技术(渔业) 海洋管理 军事海洋学 海洋生物资源与环境 理论与应用力学电子信息科学与技术 微电子学 光信息科学与技术 信息安全(信息科学技术) 光电子技术科学 材料物理 材料化学 环境科学 生态学资源环境科学 心理学 应用心理学 统计学 系统科学与工程 教育学 教育学 学前教育 特殊教育 教育技术学 小学教育 人文教育 科学教育 华文教育 体育教育 运动训练 社会体育 运动人体科学民族传统体育 运动康复与健康 农艺教育 园艺教育 林木生产教育 特用作物教育/特用动物教育 水产养殖教育 应用生物教育 农业机械教育农业建筑与环境控制教育 农产品储运与加工教育 农业经营管理教育 机械制造工艺教育 机械维修及检测技术教育 机电技术教育(电气) 汽车维修工程教育 应用电子技术教育 印刷工艺教育 食品工艺教育 纺织工艺教育 化工工艺教育 建筑工程教育 服装设计与工艺教育装潢设计与工艺教育 食品营养与检验教育 财务会计教育 文秘教育 职业技术教育管理 医学 基础医学 预防医学 卫生检验 妇幼保健医学 营养学 临床医学 麻醉学 医学影像学 医学检验 眼视光学 精神医学 听力学 医学实验学医学美容技术 口腔医学 中医学 针灸推拿学 蒙医学 藏医学/藏药学 中西医临床医学 法医学 护理学 药学 中药学 药物制剂中草药栽培与鉴定 中药资源与开发 法学 法律/法学 科学社会主义与国际共产主义运动 中国革命史与中国共产党党史 社会学/社会工作 家政学 人类学 政治学与行政学国际政治(国际事务与国际关系) 外交学 思想政治教育 国际文化交流 国际政治经济学 治安学 侦查学 边防管理/边防指挥 火灾勘查禁毒学 警犬技术 经济犯罪侦查 消防指挥 警卫学 公安情报学 犯罪学 公安管理学 国际经济法 历史学 历史学 世界历史 考古学 博物馆学 民族学 文物保护技术

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1.标题:一般不超过20个汉字(副标题除外)。 2.作者姓名、单位:按“作者姓名(单位全称,所在省城市邮政编码)”格式。 3.摘要:用第三人称写法(尽量避免“本文”、“作者”等用语),一般不超过200字。 4.关键词:3-8个,中间用分号相隔。 5.基金项目:获得基金赞助的论文应注明基金项目名称,并在圆括号内注明项目编号。 6.作者简介:作者姓名(出生年月—)、性别、民族(汉族可省略),籍贯(省、市或县)、现供职单位全称及职称、学位、研究方向。[本项自选,建议选择] 7.正文:2000~8000字为宜,结构要严谨,表达要简明,语义要确切,论点要鲜明,论据要充分,引用要规范,数据要准确。 8.文内标题:要简洁、明确,层次不宜过多,层次序号为:一、(一)、1、(1)、1)。 9.数字用法: 凡是公历世纪、年代、年、月、日、时刻、各种记数、计量均用阿拉伯数字;夏历和清代以前的历史纪年用汉字,并以圆括号加注公元纪年;邻近的两个数字并列连用以表示的概数,采用汉字。 10.表格:采用三线表,表内序号一律为阿拉伯数字,表序与表题居中置于表格上方。 11.参考文献:对引文作者、出处、版本等详细情况的注明。格式与示例: (1)专著格式:主要责任者.题名[文献类型标识].出版地:出版者,出版年. 示例:[1]陈朝阳,王克忠.组织行为学[M].上海:上海财经大学出版社,2001. (2)论文集格式:作者.题名[文献类型标识].编者.文集名.出版地:出版者,出版年. 示例:〔2〕刘守胜.中国历史分期之研究[A].关鸿,魏凭.人生问题发端——斯年学术散论[C].北京:中国发展出版社,2001. (3)期刊文章格式:主要责任者.题名[文献类型标识].刊名,年,卷(期). 示例:[3]吕文良.产业结构变动与产业政策选择[J].社科纵横,2003,(5). (4)报纸文章格式:主要责任者.题名[文献类型标识].报纸名,出版日期(版次). 示例:[4]丁士修.建筑工程管理[N].建设日报,2005-12-24(11). ◆同一专著、论文集、期刊、报纸文章,都一律只用一个序号,而且要把页码统一标注在文章中相应序号之后。 ◆参考文献的不同类型用不同的大写字母标注,如专著:[M];论文集:[C];报纸文章:[N];期刊文章:[J];学位论文:[D];报告:[R];标准:[S];专刊:[P]。 12.注释:用于对文内某一特定内容的解释或说明,其序号为:①②③……,注释置于页脚。 13.联系方式:包括作者的通信地址、邮编、电话、电子邮箱等,便于联系与沟通

实习报告如果校方无固定格式要求,一般应该包括下列内容: 在什么时间、什么地点进行了实习;实习的主要内容是什么;实习过程中的主要收获(所见所闻);对实习的感言或引发的思考。给你个范文参考下:实 习 报 告 名字 03级工商管理 我是在2008年02月20日来到某某有限公司实习的,回顾我的实习生活,感触很深,收获丰硕。实习中,我采用了看、问等方式,对金硕科技投资有限公司的日常管理工作的开展有了进一步的了解,分析了公司业务开展的特点、方式、运作规律。同时,对公司的服务品牌、企业使命以及企业精神都有了初步了解。 一. 研究动机:经过三年的理论学习,对工商管理有了一定的理论基础,通过实习将这些理论与实际的操作相结合,在实践中提高运用知识的能力。 二. 研究目的:通过金硕科技投资有限公司了解企业管理与运作的特点、规律,对其进行分析,并结合所学的理论提出改进意见。 三. 研究方法:访问法、资料收集法。 四. 公司概况 天津市金硕科技投资集团(简称金硕集团),其前身是天津市金硕视讯技术有限公司,集团现由金硕网络系统技术有限公司、金硕环境系统技术有限公司、景鸿体育设施技术有限公司、景源电力工程有限公司及青清蓝环境系统技术有限公司组成,现总注册资金4500万(人民币)。 金硕集团坐落于天津市南开区红旗南路,拥有自主产权的五层办公空间,集技术、研发、市场、工程、行政办公为一体的运营体系,不仅为现有的正在实施的客户提供最佳的服务同时为全国600多个金硕客户进行着良好的服务延续。 金硕集团坚持诚信为金,以科技创新为先导,不断拓展市场空间。主营业务共分为两大类别,十五个项目类型。第一类别为多媒体智能化弱电项目,如多媒体校园现代教育系统,计算机网络系统,卫星电视系统,智能化可寻址广播系统,舞台灯光音响系统,智能化会议系统,安防监控报警系统,住宅小区智能化一卡通及远程抄表系统;第二类别为节能环保创造绿色环境的项目,如塑胶及人造草坪运动场地设计建造,污水处理中水回用系统设计建造,智能化电采暖系统,地源热泵中央空调系统及电力系统工程等。 金硕集团坚守以人为本,实施科学化现代化精细管理模式,多方位吸纳人才,为全体同仁提供最好的发展创新空间。 金硕集团将不断地按照发展的战略,掌握行业现代科技的顶尖技术,不断完善不断调整,使集团本身成为产业的链主,并将为根据用户的各种需求,提供更加优化完善的服务。服务承诺:全天候热线电话服务,远程接入诊断、解除故障服务,专设的客户服务中心,客户自我服务支援,专业服务代理,紧急事件支持服务,专人客户回访。 五.实习收获 通过实习我发现金硕科技投资有限公司存在问题: 1、 市场观念和经营体制不适应公司快速发展的要求,市场开拓的步伐与企业快速发展的要求有差距;经营体制还不完善,经营队伍、经营人员的责权利还有待于进一步提高。 2、组织管理观念有待进一步转变,组织管理的意识不强,管理现状与管理科学化、规范化存在较大差距。 3、成本意识不强,成本控制水平不高,个别项目不存在管理粗放、大手大脚的现象,向管理要效益、向科技创新要效益的意识还没有牢固树立起来,以至于我们的成本控制与先进的科技企业还存在较大的差距,市场竞争力不强。 4、对分包队伍的管理制度和管理程序化还不完善,在分包合同管理发面存在程序不衔接、管理不闭合的现象;项目部对分包队伍达管理的重视程度不够,在管理手段和制度落实上存在薄弱环节。 5、依法治企、依法维权和自我保护意识不强,不能够充分运用法律手段维护企业利益,特别是领导干部的法律知识和依法治企的意识还不适应市场经济的要求。 对此,我提出了我的有关建议和对策: 1、进一步强化生产是经营继续的观念。 企业的发展取决于经营的质量和效果,随着市场竞争的日益激烈,做好已有的客户服务是开辟新市场的必然要求和前提条件。因此,我们要进一步强化生产是经营继续的观念,干精品、打品牌,树立一流的企业形象。 2、树立“零缺陷、低成本”向精细化管理要效益的观念。 效益是企业生存和发展的根本,只有实施“零缺陷低成本”战略,才能适应市场的激烈竞争,获得更大的赢利空间,加快企业的发展。因此,企业上下必须以效益为中心,在广大职工中不断深化“零缺陷低成本”向精细化管理要效益的观念,努力降低成本,提高效益。 3、进一步推进和规范项目管理 通过对资金管理、劳务层管理、物资管理、,加强项目基础管理,结合“三标一体”管理体系运行,完善项目管理,加大监控检查整改力度,达到闭合管理。建立公司综合考评体制,加大对工程质量、安全、文明工地的检查力度,抓好整改落实,促进施工管理水平的提高。 4、推进依法治企,维护企业合法权益。 深入开展法制宣传教育,进一步增强广大干部职工的法制意识。强化领导干部,特别是中层干部的法制培训,增强领导干部的依法经营,按章办事的能力,完善管理体制,明确责任分工,加强业务培训,提高公司法律事务整体管理水平。 短暂的实习转眼而过,回顾实习生活,我在实习的过程中,既有收获的喜悦,也有一些遗憾。那就是对企业管理有些工作的认识仅仅停留在表面,只是在看人做,听人讲如何做,未能够亲身感受、具体处理一些工作,所以未能领会其精髓。但是通过实习,加深了我对工商管理基本知识的理解,丰富了我的实际管理知识,使我对日常管理工作有了深层次的感性和理性认识。认识到要做好日常企业管理工作,既要注重管理理论知识的学习,更重要的是要把实践与理论两者紧密相结合。

本科毕业设计(论文)  文献综述  院 (系):  专 业:  班 级:  学生姓名: 学 号:  年 月 日  本科生毕业设计(论文)文献综述评价表  毕业设计(论文)题目  综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等)  评阅教师姓名 职称  评 价 项 目 优 良 合格 不合格  综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范  综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果  03 文字通顺、精练、可读性和实用性强  04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等  参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范  06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献  成绩  综合评语:  评阅教师(签字):  年 月 日  文献综述: 小四号宋  空一行  标题 二号黑居中  空一行  1 XXX 三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXXX 小三号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  1 XXX 四号黑  XXX 小四号宋,行距20磅  空一行  2 XXXX 三号黑  (空1行)  参 考 文 献  (空1行)  [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:]  [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅)  [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31.  下面的是我的文献综述  文献综述:  FTO透明导电薄膜的溅射法制备  1 前言  为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。  本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。  2透明导电玻璃的种类及制备方法简介  1透明导电玻璃的种类  1 1 TCO导电玻璃  TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。  2 ITO透明导电玻璃  ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。  3FTO透明导电玻璃  FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。  2FTO透明导电玻璃制备方法  FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。  1磁控溅射法镀膜:  溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。  目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。  2真空蒸发镀膜:  真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。  3溶胶-凝胶法:  溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。  4化学气相沉积法:  化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。  化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。  5喷雾热分解法:  喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。  3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势  1FTO透明导电玻璃的研究现状  自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。  Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。  射频溅射:  射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。  直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11]  用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。  2FTO透明导电玻璃的应用  FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。  1在薄膜太阳电池上的应用  太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。  2在显示器上的应用  显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。  3在气敏元件上的应用  气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13]  4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用  喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。  3 FTO透明导电玻璃的发展趋势  随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件:  (1)导电性能好,电阻率较低;  (2)可见光内透光率较高:  (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜;  (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀;  (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高;  (6)表面形状良好,没有针孔;  (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。  目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。  几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。  4 制备条件对膜结构及光电性能的影响  长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。  1制备条件对膜厚的影响  文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。  2制备条件对膜结构的影响  晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。  3制备条件对膜光电性质的影响  在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。  4 退火对薄膜的影响  退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15]  5 退火后处理对膜结构与成分的影响  光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17]  6 FTO导电玻璃制备相关参数  根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。  7 参考文献  1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学  2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学  3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学  4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光  5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷  6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报  7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877.  8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364.  9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar 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